问答题
简答题
光刻的主要目的是什么？光刻胶再光刻中的作用是什么？
【参考答案】
目的：在薄膜层上刻蚀出与掩模上完全对应的几何图形以实现选择性掺杂、腐蚀和氧化等目的。
作用：光刻区的光刻胶是一......
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