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多项选择题
净化室里废气收集管系统分为两类,分别是()。
A.一般排气系统
B.特殊排气系统
C.制程排气系统
D.专用排气系统
E.排气排水系统 -
多项选择题
静电释放带来的问题有哪些()。
A.金属电迁移
B.金属尖刺现象
C.芯片产生超过1A的峰值电流
D.栅氧化层击穿
E.吸引带电颗粒或极化并吸引中性颗粒到硅片表面 -
单项选择题
由静电释放产生的电流泄放最大电压可以达()。
A.几伏
B.几十伏
C.几百伏
D.几万伏
