问答题
简答题
简述带电粒子核反应瞬发分析时，能谱分析法，共振核反应法测量深度分布时的深度分辨率。
【参考答案】
能谱分析法的典型深度分辨率为几十到几百nm量级
共振核反应法典型深度分辨率为几到几十nm量级
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