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单项选择题
磁控气体放电，磁场的作用是（）
A.提高电子的能量
B.维持体系的低真空
C.利用磁场改变二次电子的运动轨迹，增大电子撞击气体产生离子的概率
D.加快电子的运动速率 -
单项选择题
下列哪一种泵能达到的真空度最高（）
A.机械泵
B.扩散泵
C.涡轮分子泵
D.溅射离子泵 -
单项选择题
物理气相沉积（PVD）中，旋转靶材或者基板的主要目的是（）
A.使得所镀薄膜的厚度均匀
B.使得所镀薄膜和基板的结合牢固
C.有利于均匀受热和散热
D.选择使所镀的薄膜各向同性
