问答题
简答题
简述能谱仪、俄歇谱仪和X光电子能谱仪都可作成分分析，它们各自的特点如何？
【参考答案】
能谱仪分析的是微区成分，分析范围为11-92的元素，若开鈹窗能分析5-92的元素，分析精度可达5%；
俄歇谱仪......
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