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问答题

简答题

简述在先进的CMOS工艺中,离子注入的应用。

    【参考答案】

    ①深埋层注入;
    ②倒掺杂阱注入;
    ③穿通阻挡层注入;
    ④阈值电压调整注入;
    ⑤轻......

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