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热氧化工艺本质上是在硅与二氧化硅（）发生的硅的氧化反应。 -
填空题
低压气相外延能降低（）效应，从而降低了外延时的杂质再分布。 -
多项选择题
关于铝膜下列哪种说法正确？（）
A.耐腐蚀性好
B.与硅接触可能出现尖楔现象
C.抗电迁移性差
D.稳定性好
