问答题
简答题
三级关停和四级关停的区别是什么？对于工艺模块设备而言，三级关停和二级关停的最本质的区别又是什么？
【参考答案】
（一）ESD 2级关断（F&G关断）
这级关断为火灾及可燃气体严重泄漏关断。
ESD&en......
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